型番：JXA-8230
メーカー：JEOL
付属品：スペクトル計（*3）、エネルギースペクトル計（*1）
解析要素：B-U
分解能：3 nm

電子プローブは電子ビーム作用試料後に発生した特徴X線を用いて微小領域の成分分析を行う装置であり、シート中の鉱物微小領域の化学組成を分析するために用いることができる。H、He、Li、Beなどいくつかの軽い元素のほか、U元素以降の元素以外は定性と定量分析ができる。点、線走査、面走査分析を行うことができます。

例：電池粉末EPMA面分布測定結果